Etchlab 200德国Sentech 反应离子刻蚀机

更新：2026/9/10 10:40:06 浏览：640次

发布企业：

深圳市蓝星宇电子科技有限公司商铺

型号：

Etchlab 200

价格：

¥ 电议

产品分类：

湿法工艺设备 > 湿法腐蚀/刻蚀设备

产地：

欧洲

关键词：

德国Sentech 反应离子刻蚀机 Etchlab 200 反应离子刻蚀机 Etchlab 200

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产品详细介绍

德国Sentech 反应离子刻蚀机 Etchlab 200

主要特点

·打开盖子

·可升级

·成本效益

应用特点

·硅及相关材料的蚀刻

·金属溅射

·亚微米蚀刻

技术特点

·600 瓦，13.56 MHz

·360 升/秒涡轮分子泵

·旋转前级泵

·打开盖子

·2-12 根燃气管线

·最大 8 英寸晶圆

·占地面积小

·更多的气体管线，更大的TP、OES、SLI 可选

深圳市蓝星宇电子科技有限公司公司介绍

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主营产品：

光刻机,镀膜沉积机，离子刻蚀与沉积系统，匀胶/涂覆/显影设备，半导体微纳检测设备，实验检测分析仪器，太阳能检测仪器，紫外UV清洗设备，电子专用材料的销售

经营范围：

光刻机,真空镀膜机,离子刻蚀机,,半导体辅助材料,半导体微纳检测仪器,太阳能吸收率发射击队率检测仪,,实验检测仪器设备,紫外线UV光清洗机UV灯.

公司简介：

深圳市蓝星宇电子科技有限公司-蓝星宇科技（香港）有限公司，经过十多年的半导体/微电路/光电业技术沉淀，可以根据客户特殊要求提供定制化服务，研发设计组装：紫外臭氧清洗机（UV清洗机）, 晶圆清洗机，等离子清洗机/去胶机，超声/兆声清洗机等，拥有自主品牌利及注册商标。

公司自成立以来一直注于半导体/微电路和光电/光学域的设备集成及技术服务，拥有一支在半导体制造、微电路及光电/光学等域经验丰富的业技术团队。

我们代理欧美日多家高科技设备厂家高性价比产品, 始终坚持创新, 技术, 服务, 诚信共创价值共赢的企业文化，为广大中国及海外客户提供先进的仪器设备和材料的整体解决方案。应用域: 半导体/微纳加工，微电路，光电/光学, 材料科学等域的研发和生产, 客户群体例如高等院校, 研究院所，科技企业等。

目蓝星宇科技已与众多国际知名半导体制造设备及检测设备企业建立了良好的长期合作关系：半导体/微纳，光电/光学 产品主要有：德国ParcanNano（Nano analytik）针尖光刻机，电子束光刻机EBL, 激光直写光刻机，紫外光刻机，微纳3D打印机，德国Sentech刻蚀机/镀膜机及原子沉积，英国HHV磁控/电子束/热蒸发镀膜机，日本爱发科ULVAC生产型磁控溅射装置/干法刻蚀机，德国/法国微波等离子沉积机MPCVD，芬兰Picosun原子层沉积机，日本/德国电子显微镜/FIB-SEM, 日本理音RION液体光学颗粒度仪，德国Bruker布鲁克原子力显微镜/微纳表征/光谱仪, 美国THERMO FISHER赛默飞光谱/色谱/质谱/波谱仪，美国Sonix超声波显微镜, 德国KSI超声波显微镜，德国耐驰Netzsch热分析仪, 德国Optosol吸收率发射率检测仪, 俄罗斯Optosystem准分子激光器，日本SEN UV清洗机/UV清洗灯，美国Jelight紫外清洗机/紫外灯管，德国等离子清洗机/去胶机等先进技术产品。

我们以高性价比的优势为客户提供优质的产品与服务，为高等院校, 科研院所，科技企业等高端客户提供仪器设备和材料。

客户参考（排名不分先后）:

企业客户：华为技术有限公司，深圳市鹏芯微集成电路制造，深圳清力技术，安徽格恩半导体，苏州稀晶半导体科技，矽品半导体，厦门海辰新能源科科，中核同创（成都）科技，洛玛瑞芯片技术（常州），伟创力科技，奥普科星河北科技，广东五星太阳能，广东万和集团，西安西测股份，普源精电科技，普源精电科技股份，上海蔚来汽车，北京华脉泰科，广医东金湾高景太阳能科技，深圳汇佳成电子，深圳市化讯半导体材料，珠海珍迎机电，合肥鼎材科技，山东金晶节能玻璃，江苏云意电气股份，广东风华高新科技技股份，浙江中能合控股集团，四川信通电子科技等。

科研院所/高等院校： 北京航空航天大学，汕头大学，南方医科大学，清华大学，北京大学，复旦大学，西北工业大学，南京医科大学，香港中文大学，香港城市大学，苏州大学，深圳职业技术学院，南京大学合肥国家试验室，上海交通大学医学院，华南理工大学，深圳大学，南方科技大学，深圳技术大学，中国科学院理化技术研究所，中国工程物理研究院激光聚变研究中心，广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院，桂林电子科技大学，上海硅酸盐研究所，中国航天五院，中科合肥智慧农业协同创新研究院等。

我们热诚欢迎国内外客户, 先进仪器设备/材料制造商, 科技企业及医疗机构与我们联系开展各层面的合作共创价值共赢！

产品：光刻机（针尖/电子束光刻机EBL，紫外光刻机，激光直写光刻机），镀膜机（磁控溅射机，电子束蒸发机，化学沉积机，微波等离子沉积机，原子层沉积机ALD），等离子刻蚀机ICP/RIE，去胶机，双光子微纳3D系统，准分子激光器，颗粒度仪，原子力显微镜，电子显微镜/FIB-SEM，超声波扫描显微镜，开封机，太阳能吸收率发射率检测仪，紫外臭氧清洗机，UV清洗机，晶圆清洗机，UV清洗灯，曝光灯，光刻胶/UV胶，晶圆/硅片/外延片等。

深圳地址：深圳宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902

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